(1) 光敏電阻瓷
①原料
制造光敏電阻時一般選用 CdS、CdSe 等Ⅱ~Ⅵ族化合物作為原料。原料要有極高的純度,一般要求5個9 (即99. 999%) 對有害雜質要嚴加控制,如鐵含量達0. 001%時,光敏阻的靈敏度將顯著下降。當然,使用摻雜劑也必須十分注意純度。
原料的粒度也是一個重要指標,應該是超細粉末,以得到好的光導性能,一般粒徑在0.05~1μm范圍內。
②摻雜
摻雜物分為兩類。一類是施主摻雜劑,有ⅢA和ⅦA族元素。如Al、Ga, In等三價金屬的化合物,NH4Cl4及其他鹵化物。另一類敏化劑(活化劑)是受主摻雜劑,有Ⅰ族和Ⅴ族元素如Cu、Ag、Au 的鹵化物、硫酸鹽、硝酸鹽等。
摻Cu量適當能提高光電導體的靈敏度,但過量的 Cu 會使光電導體性能不穩定。如Cu 摻雜量超過8X10-4時,光電導體性能不穩定。摻CI的 CdS形成的是n型半導體,受主Cu所形成的陷阱中心減小光電導體的電導率。隨摻Cu量的不同,光電導體的光電導率或者說亮電阻也隨之改變。合適的摻Cu量,可以得到大的暗、亮電阻比。
③助熔劑
CdS的熔點為 1750℃, 為了降低燒結溫度,要加入助熔劑,常用的助熔劑有CdCl2 、ZnCl2、NaCl、CaCl2、LiCI等鹵化物。助熔劑的熔點應比 CdS低,能在燒結溫度熔化,促進 CdS燒結。如CdCl2 的熔點為568℃, 燒成溫度高于此溫度就行。但燒成時殘留的CdCl2 會慢慢與 CdS及電極材料 In 起化學反應,影響CdS光敏電阻的穩定性。為此,制造過程中,需要嚴格控制CdCl2 的用量,并將燒成的光敏片在蒸發電極之前先在堿水中洗滌。
④分散劑
助熔劑雖然能促進燒結,但會使 CdS形成粗晶。而光敏電阻及其他光導材料都要求獲得細晶,以使顆粒之間接觸點增加,電阻增加,即暗電阻高,這正是光敏電阻所需要的。微細的光導電粉末作感光粉也可使感光層均勻。分散劑的熔點要比助熔劑的熔點高,否則起不到分散劑的作用,且要求能溶于水而不與光導電粉末起化學反應,以便燒成后洗掉。
常用分散劑有 NaF、Cal2, NaBr, CaBr2, NaCl, CaCl2, Na2SO4、CaCO3, Na2CO3、CaO等。由于不同物質的燒結溫度不同,同一物質有時可作助熔劑有時亦可作分散劑。
(2) 燒結膜光敏電阻瓷
①基板的清洗
燒結膜光敏電阻是把配好的漿料用噴槍噴到基板上,或用絲網印刷的辦法印到基板上,基板表面的物理化學性質、表面平滑程度、清潔程度等等對燒結膜的光電導性影響很大,因此要對基板進行清洗。清洗方法是先用鹽酸煮洗。之后用蒸餾水洗凈,再加入洗液煮洗,最后用去離子水反復煮洗。另外還有在丙酮或乙醇中超聲清洗,干燥后待用。
②漿料的配制
燒結膜光敏電阻漿料的配制工藝列于下表
原料
純度
配比(g)
配制工藝及作用
CdS
光譜純
2
加入適量去離子水,研細、烘干
CdSe
光譜純
0.5
改善光譜響應,使之移向長波段方向,暗、亮電阻比增加,響應時間加快;配方前在N2氣氛中500℃下煅燒,30min取出,加去離子水,研細、烘干
CaCl2
分析純
0.25
加去離子水
CuNO3
分析純
0.5mL
將上述三種混勻的料加入到此溶液中,研磨均勻
③燒成
將上述混合液用噴槍噴膜,干燥,放入管式爐中進行燒成。燒成氣氛為中性氮氣氛,約600℃保溫一段時間后隨爐冷卻,即得光敏電阻材料。
(3) 光敏電阻用電極
光敏電阻瓷加上電極便可制成光敏電阻器。理想的電極是電極材料與光電導體之間不產生接觸勢壘,并且要求電極材料不與光電導體產生化學反應,不受光照、溫度或外加電壓變化的影響。
對n型半導體,應選擇功函數比半導體功函數小的金屬材料作電極材料;對p型半導體則相反。實驗證明,對于CdS、CdSe光敏電阻器,用金、銀,銅、碳,鉑作電極材料,不能形成歐姆接觸,可利用真空蒸發的方法,把銦、鎵蒸鍍到CdS、CdSe光電導體上,以達到歐姆接觸的目的。銦的熔點為155℃, 鎵的熔點僅29. 8C, 都相當低,因此,可用熔融法制作電極。在生產過程中也可利用銦錫合金作歐姆接觸電極。